Для обнаружения потока негерметичности вакуумной системы необходимо зафиксировать повышение концентрации молекул гелия в зоне контроля. С этой задачей справляется гелиевый течеискатель. В первую очередь для обеспечения работы течеискателя необходимо создать достаточное разряжение в анализируемом объеме (вакуумные методы). Если анализируемый объем большой, то функцию откачки выполняет независимый форвакуумный насос способный обеспечить предельное давление не выше 1 мбар. Если же объем небольшой, то откачка системы может производиться непосредственно силами встроенной в течеискатель откачной системы, задача которой создать минимальное давление в камере газоанализатора течеискателя.
Как только требуемое давление в системе и в камере газоанализатора достигнуто можно приступать к процессу поиска течей. В случае наличия в системе молекул гелия они, попадая в течеискатель, регистрируются масс-спектрометром, настроенным на атомную массу гелия. Об этом сразу сигнализирует встроенный в течеискатель контроллер и выдает значение зарегистрированной течи. После чего дефекты тестируемой системы локализуются и устраняются.
